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行業(yè)資訊

Dexmet延展過濾支撐網(wǎng):半導(dǎo)體行業(yè)高溫與腐蝕性環(huán)境的過濾解決方案

發(fā)布日期:2024-11-22 作者:大連義邦科技 瀏覽數(shù):17
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在半導(dǎo)體行業(yè),隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和芯片尺寸的縮小,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的純度和清潔度要求日益嚴(yán)苛。半導(dǎo)體制造過程涉及多個(gè)關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),包括但不限于光刻、蝕刻、沉積、離子注入和化學(xué)機(jī)械研磨等。這些環(huán)節(jié)對(duì)環(huán)境中的微粒、化學(xué)污染物和金屬雜質(zhì)的控制極為重要,因?yàn)檫@些污染物的存在會(huì)嚴(yán)重影響芯片的性能和生產(chǎn)良率。


 

為了確保生產(chǎn)環(huán)境的高純度,半導(dǎo)體工廠必須采用先進(jìn)的過濾系統(tǒng),以有效去除生產(chǎn)過程中涉及的液體和氣體介質(zhì)中的顆粒物、化學(xué)蒸氣和氣體雜質(zhì)。這些過濾系統(tǒng)必須能夠承受極端的化學(xué)反應(yīng)條件和高溫環(huán)境,因?yàn)榘雽?dǎo)體制造工藝常常在這些苛刻條件下進(jìn)行。因此,過濾材料必須具備卓越的耐化學(xué)性和耐高溫性,以確保在這些極端條件下也能提供持續(xù)穩(wěn)定的過濾性能。

 

Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)是專為半導(dǎo)體微電子行業(yè)等苛刻環(huán)境設(shè)計(jì)的高性能過濾解決方案。采用精密制造技術(shù),精確控制濾網(wǎng)的厚度、孔徑和圖案,滿足高精度過濾需求。主要材料為耐化學(xué)和耐高溫的PFA和PTFE,確保在極端條件下提供持續(xù)穩(wěn)定的過濾性能。Dexmet支持高度定制化,以優(yōu)化超細(xì)膜層結(jié)構(gòu),防止變形,保持過濾效率。定制化能力使其成為滿足特定應(yīng)用需求的理想選擇。

 

與此同時(shí),Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)作為增強(qiáng)過濾膜支撐材料,在終端過濾折疊式或螺旋纏繞濾芯中作為分離層/進(jìn)料層/排水層,發(fā)揮關(guān)鍵作用。



Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)的特點(diǎn)

 

● 強(qiáng)化微粒過濾與污染控制:通過精密的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu),有效攔截微粒和污染物,從而減少晶片污染并提升半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和良率。

 

● 均勻的化學(xué)品分布與流動(dòng)一致性:確保在半導(dǎo)體制造過程中化學(xué)品和氣體的均勻分布和穩(wěn)定流動(dòng),對(duì)于材料的均勻沉積和蝕刻過程至關(guān)重要。

 

● 動(dòng)態(tài)流動(dòng)條件下的穩(wěn)定性和耐用性:在波動(dòng)或高流速條件下保持結(jié)構(gòu)完整性和穩(wěn)定性,減少介質(zhì)塌陷或移位的風(fēng)險(xiǎn),同時(shí)提高過濾器的使用壽命,降低維護(hù)和更換頻率,從而降低運(yùn)營(yíng)成本。



● 化學(xué)和氣體過濾中的有效分離:提供高效、穩(wěn)定的過濾性能,確保在化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻等關(guān)鍵工藝中實(shí)現(xiàn)有效分離,降低污染風(fēng)險(xiǎn)。

 

● 清理與維護(hù)的便捷性:一體成型的延展網(wǎng)結(jié)構(gòu)消除了交叉點(diǎn),簡(jiǎn)化了清理過程,允許直接用水清洗或擦除,提高生產(chǎn)效率并減少停機(jī)時(shí)間。

 

● 高過濾效率與空間利用率:Dexmet延展網(wǎng)的過濾面積高達(dá)70%,而編織網(wǎng)僅有30-50%。更大的接觸過濾面積,顯著提高了過濾效率和空間利用率,從而加快了過濾速度。

 

● 產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和可擴(kuò)展性:從試驗(yàn)到大規(guī)模生產(chǎn),Dexmet延展網(wǎng)提供一致的效果和效率,確保了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和生產(chǎn)過程的可擴(kuò)展性。另外,作為能夠生產(chǎn)PFA和PTFE延展網(wǎng)的少數(shù)制造商之一,Dexmet的產(chǎn)品已被全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體公司廣泛認(rèn)可和信賴。

 

總的來說,Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)憑借其卓越的耐化學(xué)性和耐高溫性,精密定制的能力以及在各種動(dòng)態(tài)條件下的穩(wěn)定性,已成為半導(dǎo)體微電子行業(yè)中不可或缺的高性能過濾解決方案。它不僅強(qiáng)化了微粒過濾和污染控制,還確保了化學(xué)品分布的均勻性和流動(dòng)的一致性,有效提高了半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制精度。

 

在動(dòng)態(tài)流動(dòng)條件下,Dexmet延展網(wǎng)展現(xiàn)了出色的穩(wěn)定性和結(jié)構(gòu)完整性,為過濾器提供了可靠的支持,避免了介質(zhì)塌陷或移位。此外,在化學(xué)和氣體過濾中展現(xiàn)出的有效分離能力,進(jìn)一步降低了污染風(fēng)險(xiǎn),保證了半導(dǎo)體設(shè)備的高純度,為半導(dǎo)體行業(yè)提供了一種長(zhǎng)期、穩(wěn)定和經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。

 

 



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